• 首页
  • 关于韵申
    • 公司简介
    • 发展历程
    • 企业文(wén)化
    • 荣誉资质
  • 产品与服務(wù)
    • 衬底材料晶體(tǐ)炉
    • 高纯流體(tǐ)设备与系统
    • 湿化學(xué)品工艺与设备
    • 半导體(tǐ)设备零部件
  • 韵申时讯
    • 公司动态
  • 招贤纳士
    • 加入我们
    • 联系我们
    • 办公环境
  • 021-57847500
  • 首页
  • 关于韵申
    公司简介 发展历程 企业文(wén)化 荣誉资质
  • 产品与服務(wù)
    衬底材料晶體(tǐ)炉 高纯流體(tǐ)设备与系统 湿化學(xué)品工艺与设备 半导體(tǐ)设备零部件
  • 韵申时讯
    公司动态
  • 招贤纳士
    加入我们 联系我们 办公环境
产品中心
  • 衬底材料晶體(tǐ)炉
  • 硅材料晶體(tǐ)炉 化合物(wù)半导體(tǐ)晶體(tǐ)炉 高温烧结炉
  • 高纯流體(tǐ)设备与系统
  • 装置模块化解决方案 EP级设备 MO\CVD\ALD源瓶
  • 湿化學(xué)品工艺与设备
  • 湿電(diàn)子化學(xué)品解决方案 非标衬氟设备 ISO TANK
  • 半导體(tǐ)设备零部件
  • 非标焊接件 非标气柜GAS BOX
    当前位置: 首页> 产品与服務(wù)> 衬底材料晶體(tǐ)炉> 硅材料晶體(tǐ)炉

    電(diàn)子级多(duō)晶硅化學(xué)气相沉积炉

    产品特点

    采用(yòng)银钢复合板作為(wèi)反应腔體(tǐ),对反应原料进行汽化、提纯、过滤等一系列纯化操作后,将高纯反应气體(tǐ)通入到反应器内,发生化學(xué)气相沉积反应生产高纯度的多(duō)晶硅产品,满足半导體(tǐ)级硅料的要求。

    产品参数

    可(kě)根据客户需求进行非标定制.

    硅单晶生長(cháng)炉

    产品特点

    Ø设备装料量大,生产效率高,生产成本低;

    Ø采用(yòng)全面数字化管理(lǐ),配合高精度的CCD控制系统,全面提供设备自动化程度;

    Ø采用(yòng)自动报警检测和安全泄放装置,保证设备安全可(kě)靠。

    产品参数

    名称

    硅单晶生長(cháng)炉

    备注

    工艺

    直拉法

     

    设备直径/mm

    1600

     

    产品尺寸/inch

    8~12

     

    装料量/kg

    ≥850

     

    适用(yòng)热场规格/inch

    32/36/40

     

    最大等径長(cháng)度/mm

    4700

     

    主體(tǐ)占地尺寸/mm

    3440*2540*13000

     

    全自动硅芯炉

    产品特点

    Ø可(kě)一次性同时拉制多(duō)根直径8~25毫米的圆柱状硅芯;·采用(yòng)特殊的冷却机构,加快硅芯的生長(cháng)速度;
    Ø采用(yòng)全新(xīn)的CCD监测系统,通过热成像原理(lǐ)可(kě)以检测液面和固液界面处的温度分(fēn)布,从而实现全自动引晶、放肩、转肩和等径生長(cháng);
    Ø软件界面采用(yòng)模块化设计,功能(néng)全面,操作方便,后期可(kě)以跟进客户需要对软件进行定制化升级。

    产品参数

    名称

    全自动硅芯炉

    备注

    工艺

    直拉法

     

    设备直径/mm

    1200

     

    产品尺寸/mm

    8~25毫米圆柱硅芯

     

    装料量/kg

    ≥350

     

    适用(yòng)热场规格/inch

    28

     

    最大等径長(cháng)度/mm

    3600

     

    主體(tǐ)占地尺寸/mm

    2800*2000*11000

     

    服務(wù)热線(xiàn)電(diàn)话

    021-57847500

    公司地址:上海市普陀區(qū)金沙江路1038号华大科(kē)技园C栋5A层5A01室

    工厂地址:江苏省镇江市京口區(qū)五峰山(shān)路68号

    邮箱:salesofficer@rhyme-sh.com

    邮编:200062

    关注我们

    关于韵申

    公司简介

    发展历程

    企业文(wén)化

    荣誉资质

    产品与服務(wù)

    衬底材料晶體(tǐ)炉

    高纯流體(tǐ)设备与系统

    湿化學(xué)品工艺与设备

    半导體(tǐ)设备零部件

    韵申时讯

    公司动态

    招贤纳士

    加入我们

    联系我们

    办公环境

    COPYRIGHT © 上海韵申新(xīn)能(néng)源科(kē)技有(yǒu)限公司版权所有(yǒu)ALL RIGHTS RESERVED.