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    電(diàn)子级多(duō)晶硅化學(xué)气相沉积炉

    产品特点

    采用(yòng)银钢复合板作為(wèi)反应腔體(tǐ),对反应原料进行汽化、提纯、过滤等一系列纯化操作后,将高纯反应气體(tǐ)通入到反应器内,发生化學(xué)气相沉积反应生产高纯度的多(duō)晶硅产品,满足半导體(tǐ)级硅料的要求。

    产品参数

    可(kě)根据客户需求进行非标定制.

    硅单晶生長(cháng)炉

    产品特点

    Ø设备装料量大,生产效率高,生产成本低;

    Ø采用(yòng)全面数字化管理(lǐ),配合高精度的CCD控制系统,全面提供设备自动化程度;

    Ø采用(yòng)自动报警检测和安全泄放装置,保证设备安全可(kě)靠。

    产品参数

    名称

    硅单晶生長(cháng)炉

    备注

    工艺

    直拉法

     

    设备直径/mm

    1600

     

    产品尺寸/inch

    8~12

     

    装料量/kg

    ≥850

     

    适用(yòng)热场规格/inch

    32/36/40

     

    最大等径長(cháng)度/mm

    4700

     

    主體(tǐ)占地尺寸/mm

    3440*2540*13000

     

    高温烧结炉系列

    产品特点

    Ø  工作压力:真空或高压(≥10MPa)

    Ø  加热方式:電(diàn)阻加热

    Ø  合理(lǐ)的热场设计,炉内温度均匀性好

    Ø  高压设备按照压力容器标准采用(yòng)GB150或JB4732进行设计,保证设备设计安全性能(néng)

    可(kě)提供产品:

    u  高纯石英烧结炉

    u  靶材烧结炉

    u  碳化硅烧结炉

    产品参数

    高温烧结炉能(néng)够在高温下对材料进行烧结、合成、分(fēn)解或其它的化學(xué)反应,主要用(yòng)于生产高性能(néng)陶瓷材料等。

    化合物(wù)晶體(tǐ)炉

    产品特点

    采用(yòng)提拉法、导模法、物(wù)理(lǐ)气相传输法、液相法等生長(cháng)工艺,在真空或高压工况下,采用(yòng)電(diàn)阻/感应等加热方式,配合精密的机械传动机构,精准的温度控制技术和自动化的控制程序,从而生長(cháng)出各种人工晶體(tǐ)材料。

    Ø  工作压力:真空或高压

    Ø  最高加热温度:≥2000℃

    Ø  加热形式:電(diàn)阻或感应

    Ø  控温精度:≤±0.5℃

    Ø  配套流场和温场仿真计算

    Ø  集成化设计,自动化程度高

    Ø  可(kě)根据客户需求进行定制化设计

    可(kě)提供产品:

    u  蓝宝石長(cháng)晶炉

    u  磷化铟多(duō)晶合成炉

    u  磷化铟单晶生長(cháng)炉

    u  砷化镓長(cháng)晶炉

    u  碳化硅長(cháng)晶炉

    u  氧化镓長(cháng)晶炉

    全自动硅芯炉

    产品特点

    Ø可(kě)一次性同时拉制多(duō)根直径8~25毫米的圆柱状硅芯;·采用(yòng)特殊的冷却机构,加快硅芯的生長(cháng)速度;
    Ø采用(yòng)全新(xīn)的CCD监测系统,通过热成像原理(lǐ)可(kě)以检测液面和固液界面处的温度分(fēn)布,从而实现全自动引晶、放肩、转肩和等径生長(cháng);
    Ø软件界面采用(yòng)模块化设计,功能(néng)全面,操作方便,后期可(kě)以跟进客户需要对软件进行定制化升级。

    产品参数

    名称

    全自动硅芯炉

    备注

    工艺

    直拉法

     

    设备直径/mm

    1200

     

    产品尺寸/mm

    8~25毫米圆柱硅芯

     

    装料量/kg

    ≥350

     

    适用(yòng)热场规格/inch

    28

     

    最大等径長(cháng)度/mm

    3600

     

    主體(tǐ)占地尺寸/mm

    2800*2000*11000

     

    服務(wù)热線(xiàn)電(diàn)话

    021-57847500

    公司地址:上海市普陀區(qū)金沙江路1038号华大科(kē)技园C栋5A层5A01室

    工厂地址:江苏省镇江市京口區(qū)五峰山(shān)路68号

    邮箱:salesofficer@rhyme-sh.com

    邮编:200062

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