化合物(wù)晶體(tǐ)炉
产品特点
采用(yòng)提拉法、导模法、物(wù)理(lǐ)气相传输法、液相法等生長(cháng)工艺,在真空或高压工况下,采用(yòng)電(diàn)阻/感应等加热方式,配合精密的机械传动机构,精准的温度控制技术和自动化的控制程序,从而生長(cháng)出各种人工晶體(tǐ)材料。
Ø 工作压力:真空或高压
Ø 最高加热温度:≥2000℃
Ø 加热形式:電(diàn)阻或感应
Ø 控温精度:≤±0.5℃
Ø 配套流场和温场仿真计算
Ø 集成化设计,自动化程度高
Ø 可(kě)根据客户需求进行定制化设计
可(kě)提供产品:
u 蓝宝石長(cháng)晶炉
u 磷化铟多(duō)晶合成炉
u 磷化铟单晶生長(cháng)炉
u 砷化镓長(cháng)晶炉
u 碳化硅長(cháng)晶炉
u 氧化镓長(cháng)晶炉