经过几个月的艰苦奋战,近日,我司承接的通威集团旗下永祥能(néng)源科(kē)技公司年产1500吨硅烷气EPC装置顺利中交。
硅烷气作為(wèi)一种载运硅组分(fēn)的气體(tǐ)源,因為(wèi)它纯度高和能(néng)实现精细控制,已成為(wèi)许多(duō)其他(tā)硅源无法取代的重要特殊气體(tǐ)。國(guó)内硅烷气體(tǐ)主要用(yòng)于太阳能(néng)電(diàn)池中氮化硅减少反射膜制备、面板显示中氮化硅绝缘保护膜和非晶硅层膜,集成電(diàn)路中外延硅沉积、氧化硅膜沉积和氮化硅膜沉积,是面板显示和半导體(tǐ)行业非常重要的特气之一。
近年来,硅烷气的新(xīn)型应用(yòng)领域不断的涌现,尤其是硅基负极材料行业。硅基负极材料具有(yǒu)理(lǐ)论容量高、首次充放效率高、工艺成本低等优势,是下一代负极材料的重要发展方向。 经过紧张的开車(chē)前工作部署,永祥能(néng)源科(kē)技公司1500吨硅烷气项目一次性进料开車(chē)成功,在此热烈祝贺!